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一、工业废气利用排风设备输入到本净化设备后，先经过过滤网去除大分子和颗粒，既对废气进行初级处理；其次净化设备运用特制高能光波及臭氧对工业废气进行协同分解氧化反应，利用高能光波裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的；
二、利用高能高臭氧光波分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用；
三、在光线的作用下，光触媒会产生强烈催化降解功能：能有效地降解空气中有毒有害气体，能有效杀灭多种细菌，并能将细菌或真菌释放出的毒素分解及无害化处理，同时它还具备除臭、抗污等功能。为此，此设备还可以加纳米级TiO2净化模块（参数比例由公司研发，属保密专利）装置，再一次对废气进行催化氧化净化处理；
四、针对有些废气成份比较复杂的、顽固的处理对象，我们采用新研发的、多波段工艺进行处理——也称微波光催化处理技术。它是利用特殊的微波发生器，产生特定波段的高能光波，通过无极光源对废气分子链进行裂解的技术。首先，利用引风机和管道将污染物分子引入光催化区，大体要经历电子轰击---强氧化剂OH的氧化---高能光波催化分解---臭氧氧化---电子轰击---强氧化剂-OH的氧化---臭氧氧化---正氧离子氧化等过程。
从结构空间上讲，废气依次经过过滤网区、高能光波光解区、光触媒催化区、氧化区。多级催化氧化结构不但了催化比表面积，同时发挥了均布导流的功能，在有限的空间较大限度空间上和特制光波灯的充分接触，增加和提高活性粒子和污染物的接触机会和时间。
从微观上讲，运用172纳米波段切割、断链、裂解废气分子链，改变废气DNA结构； 取值253.7纳米波段对废气分子进行氧化，使破坏后的分子或中子与O3进行结合，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在催化氧化过程中，转变成低分子化合物使之变为CO2、H2O等。其除臭较高可达99%以上，净化、脱臭效果大大超过1993年颁布的恶臭污染物排放标准（GB14554-93），《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)；《工业企业设计卫生标准》GBZ1-2002。
